關(guān)鍵加工環(huán)節(jié)
前處理:包括除油、微蝕、活化,確保載板表面潔凈無雜質(zhì)。
電鍍沉積:通過電解或化學(xué)沉積方式,讓金屬離子均勻附著在載板表面。
后處理:涵蓋清洗、烘干、檢測,保障鍍層質(zhì)量達(dá)標(biāo)。
載板電鍍加工的原材料成本占總成本的比例因多種因素而異,通常在 30% - 50% 左右。
根據(jù)行業(yè)相關(guān)資料,在 mSAP 載板的產(chǎn)品成本結(jié)構(gòu)中,原材料成本約占 45%,包括基材、銅箔、藥液等。IC 載板的原材料成本占比也較高,例如 ABF 載板的原材料成本構(gòu)成中,ABF 膜大概占比 32%,銅箔跟基板占 8%,銅粉加金鹽占 2%,干膜占 1.5%,油墨占 1.5%,錫球占 2%。
面板級加工:扇出型封裝常采用面板級封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級電鍍設(shè)備可加工尺寸高達(dá) 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級封裝,能提高生產(chǎn)效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個(gè) /cm2。
復(fù)雜結(jié)構(gòu)處理:對于埋入式扇出型封裝結(jié)構(gòu),可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時(shí)需要特殊工藝處理,以避免產(chǎn)生空洞等缺陷。
通訊載板電鍍加工常見鍍層類型及作用
銅鍍層:是通訊載板中最主要的導(dǎo)電層,用于線路互聯(lián),其厚度通常根據(jù)具體需求在 1-20μm 之間,要求具有高導(dǎo)電性、良好的附著力和抗電遷移性能,以保證信號的傳輸和載板的長期可靠性。
鎳鍍層:常作為中間阻擋層,防止銅擴(kuò)散,同時(shí)提高后續(xù)鍍層的結(jié)合力,厚度一般在 0.5-2μm。
金鍍層:主要用于表面焊接 / 鍵合層,如芯片鍵合或引腳焊接,具有良好的導(dǎo)電性、抗腐蝕性和可焊性,厚度通常在 0.1-1μm,可分為硬金和軟金,硬金耐磨性好,軟金易鍵合。
錫鍍層:是一種低成本的焊接層,可替代部分金鍍層,用于載板的表面焊接,厚度一般在 1-3μm,要求無針孔、可焊性好。
