主要應用場景
半導體封裝載板:實現(xiàn)芯片與基板的電連接,提升散熱效率。
PCB 高頻載板:增強信號傳輸穩(wěn)定性,降低損耗。
精密電子載板:提高表面耐磨性和抗腐蝕能力,延長使用壽命。
載板電鍍加工的成本核心由 “材料 + 工藝 + 產(chǎn)能 + 輔助” 四大類因素構成。
核心成本構成因素
原材料成本:占比,主要是鍍層金屬(銅、鎳、金等)的價格波動,以及電鍍液、添加劑等耗材費用。
工藝相關成本:包括前處理 / 后處理的化學藥劑、水電能耗,還有高精度設備的折舊與維護費用。
產(chǎn)能與良率成本:批量越小、良率越低,單位成本越高;復雜載板(如細線路、厚鍍層)的加工難度會增加工時和報廢率。
輔助與管理成本:涵蓋檢測(鍍層厚度、附著力等)費用、人工操作成本,以及環(huán)保處理(廢水、廢氣)的合規(guī)支出。
面板級加工:扇出型封裝常采用面板級封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級電鍍設備可加工尺寸高達 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級封裝,能提高生產(chǎn)效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個 /cm2。
復雜結構處理:對于埋入式扇出型封裝結構,可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時需要特殊工藝處理,以避免產(chǎn)生空洞等缺陷。
工藝流程
前處理:包括對載板進行開槽、打通孔等操作,然后將載板貼在承載膠上,植入芯片和金屬塊,進行次塑封,形成塑封層;之后拆除承載膠,對一次塑封件另一面進行第二次塑封,形成第二塑封層。
電鍍準備:在塑封層和第二塑封層上打盲孔,以露出芯片的 IO 接口和金屬塊,然后對盲孔進行真空濺射,并在二次塑封件的上、下兩面建立種子層。
電鍍沉積:通過電解或化學沉積方式,讓金屬離子在載板表面沉積形成所需的鍍層,如銅、鎳、金、錫等鍍層,在電鍍過程中需要控制電場、電鍍液成分、溫度、電流密度等參數(shù),以確保鍍層的質量和性能。
后處理:電鍍完成后,進行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質,然后對鍍層進行檢測,如檢測鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產(chǎn)品質量符合要求。
