IC 載板電鍍加工是半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的核心工藝,專為 IC 載板(如 ABF 載板、BT 載板)沉積高精度金屬鍍層,核心作用是實(shí)現(xiàn)芯片與基板的可靠電連接、提升散熱與抗腐蝕性能。
主流鍍層類型及用途
銅鍍層:核心導(dǎo)電層,用于線路互聯(lián),厚度通常 1-5μm,要求高導(dǎo)電性和附著力。
鎳鍍層:中間阻擋層,防止銅擴(kuò)散,厚度 0.5-2μm,提升后續(xù)鍍層結(jié)合力。
金鍍層:表面焊接 / 鍵合層,用于芯片鍵合或引腳焊接,厚度 0.1-1μm,分硬金(耐磨)、軟金(易鍵合)。
錫鍍層:低成本焊接層,替代部分金鍍層,厚度 1-3μm,要求無(wú)針孔、可焊性好。
面板級(jí)加工:扇出型封裝常采用面板級(jí)封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級(jí)電鍍?cè)O(shè)備可加工尺寸高達(dá) 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級(jí)封裝,能提高生產(chǎn)效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對(duì)鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個(gè) /cm2。
復(fù)雜結(jié)構(gòu)處理:對(duì)于埋入式扇出型封裝結(jié)構(gòu),可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時(shí)需要特殊工藝處理,以避免產(chǎn)生空洞等缺陷。
核心適用場(chǎng)景
消費(fèi)電子載板:手機(jī)、電腦的 PCB 主板、柔性載板,需輕量化、高導(dǎo)電鍍層。
工業(yè)電子載板:工控設(shè)備、汽車電子的耐高溫載板,側(cè)重鍍層穩(wěn)定性和抗老化性。
特種電子載板:醫(yī)療設(shè)備、航空航天用載板,要求鍍層低雜質(zhì)、高可靠性。
