公司名：深圳捷微洛克科技有限公司

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全自動(dòng)和半自動(dòng)GC特氣柜 BSGS特氣柜 VMB特氣柜 TMA特氣柜 Scrubber尾氣處理柜 特氣分配柜 VDB特氣柜 VDP特氣柜

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)JW-200-GC規(guī)格單瓶/雙瓶專用氣柜尺寸雙瓶: W800*D633*H2172 , 單瓶: W600*D661*H2104控制柜電源控制電源: 220VAC, 50HZ, 500W, 加熱電源: 220VAC, 50HZ, 1-6KW吹掃PN2,1/4”MVCR高壓保持HPN2,1/4”MVCR真空GN2.1/4” MVCR排氣1/2” MVCR氣動(dòng)氣源CDA driver, 1/4″ SWG氣柜通風(fēng)口外徑150MM，硅烷810m3/小時(shí)；其他204m3/小時(shí)標(biāo)準(zhǔn)配置自動(dòng)切換、自動(dòng)吹掃、防爆、防泄漏柜體、防爆自鎖門、防爆玻璃觀察窗、泄漏報(bào)警、遠(yuǎn)程斷電、負(fù)壓報(bào)警操作界面10英寸彩色觸摸屏

可選

*紫外/紅外火焰探測(cè)器

*氣缸關(guān)閉裝置

*面板加熱裝置

*以太網(wǎng)通訊模塊

*CGA Guarder 保護(hù)裝置

*過流開關(guān)

*氣缸控制

*稱重秤

*氣缸加熱裝置

特氣柜是一種用于供應(yīng)和管理特種氣體的設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體、LED等新興產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)過程中。這些特種氣體包括易燃、易爆、劇毒等具有一定危險(xiǎn)性的氣體，如硅烷（SiH4）等。

在CVD（化學(xué)氣相沉積）等生產(chǎn)過程中，特氣柜發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠滿足生產(chǎn)過程中對(duì)氣體原材料的高純度和連續(xù)穩(wěn)定供給的要求，確保生產(chǎn)正常進(jìn)行和員工人身。特氣柜內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局，使得氣體在傳送過程中經(jīng)過多次自動(dòng)吹掃，避免被氣體雜質(zhì)污染，保證氣體原材料的純度。

此外，特氣柜還具有報(bào)警偵測(cè)警報(bào)功能，在緊急情況下會(huì)自動(dòng)切斷，保障生產(chǎn)和人員。全自動(dòng)特氣柜的柜體板材厚度不低于2.5mm，有防腐蝕涂層，柜門關(guān)閉時(shí)，氣瓶柜內(nèi)部處于負(fù)壓狀態(tài)，柜內(nèi)的排風(fēng)換氣的頻率不低于300次/H，從而確保特氣柜在各種環(huán)境下都能穩(wěn)定運(yùn)行。