在實際生產(chǎn)中,ITO靶材通常被加工成圓形或矩形的塊狀,與濺射設備配合使用。濺射過程中,靶材的質量直接影響薄膜的均勻性、附著力和性能。因此,高質量的ITO靶材不僅是技術要求,更是生產(chǎn)效率和產(chǎn)品可靠性的保障。
制造ITO靶材是一項技術密集型的工作,涉及從原料配比到成型加工的多個環(huán)節(jié)。高質量的ITO靶材需要具備高密度、均勻性和穩(wěn)定性,而這些要求背后隱藏著復雜的工藝和諸多挑戰(zhàn)。
ITO靶材,即銦錫氧化物靶材,主要由氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)組成,其中氧化銦占比高達90%。ITO靶材因其優(yōu)異的導電性和高透光性,成為液晶顯示器(LCD)、觸摸屏及太陽能電池等光電設備的理想材料。其晶體結構穩(wěn)定,電導率高,確保了設備的運行。
銦回收的難點在于其“稀”與“散”。一部廢舊手機含銦量不足0.02克,且深嵌于多層結構的液晶面板中,與玻璃、塑料、其他金屬緊密復合。傳統(tǒng)的物理拆解難以分離,濕法冶金(酸/堿浸出)則面臨成分復雜、雜質干擾、易產(chǎn)生二次污染等嚴峻挑戰(zhàn)。

