表面平整度高:為減少信號(hào)散射,電鍍層需具備的表面平整度,特別是在微帶線、共面波導(dǎo)等結(jié)構(gòu)中,通常要求鍍層表面粗糙度 Ra前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機(jī)物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對(duì)于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進(jìn)行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學(xué)鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導(dǎo)電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
工藝適配相關(guān)故障
線路橋連 / 短路:超細(xì)線路(≤10μm 線寬)間出現(xiàn)鍍層粘連,多因光刻膠顯影不徹底、電鍍時(shí)金屬離子過(guò)度沉積,或鍍液整平性差。
盲孔 / 埋孔填充不良:孔內(nèi)出現(xiàn)空洞、凹陷,影響層間導(dǎo)通和散熱。成因是鍍液流動(dòng)性不足、電流密度未針對(duì)深寬比優(yōu)化,或添加劑中整平劑含量不足。
基材損傷:特殊基材(如 PTFE)出現(xiàn)翹曲、開(kāi)裂,多因電鍍溫度過(guò)高(超過(guò)基材耐熱極限),或前處理化學(xué)藥劑腐蝕基材表面。
基材預(yù)處理:奠定結(jié)合與信號(hào)基礎(chǔ)
先進(jìn)行除油脫脂,用堿性或中性清洗劑去除基材表面油污、指紋,避免影響鍍層附著力。
針對(duì) PTFE、羅杰斯等特殊基材,需額外做等離子體活化 / 化學(xué)粗化,提升表面活性與粗糙度。
通過(guò)微蝕 + 水洗,去除表面氧化層,同時(shí)形成均勻微觀粗化面,增強(qiáng)后續(xù)種子層結(jié)合力。
