閉環(huán)之困：損耗與機(jī)遇并存

ITO靶材在濺射鍍膜過(guò)程中利用率通常僅30%左右，大量含銦廢料（廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料）隨之產(chǎn)生。過(guò)去，這些價(jià)值的廢料往往被簡(jiǎn)單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環(huán)體系，成為破解資源約束的黃金路徑。

銦在半導(dǎo)體、液晶顯示器等電子器件的生產(chǎn)中發(fā)揮著重要作用。銦靶材通常用于物相沉積（PVD）工藝中，制造薄膜。然而，銦靶材的成本高昂，且供應(yīng)有限，因此從廢棄或用過(guò)的靶材中回收銦變得至關(guān)重要。

銦靶材回收的主要任務(wù)是將銦從靶材中的其他金屬和材料中分離出來(lái)，并將其提純至高純度?；厥辗椒òɑ鸱ā穹ê碗娀瘜W(xué)法。

火法冶金工藝使用高溫熔煉和精煉來(lái)回收銦。這種方法適用于大規(guī)?；厥眨嬖谝恍┤秉c(diǎn)，如產(chǎn)生危險(xiǎn)廢物、高能耗，以及可能損失有價(jià)值的銦。

濕法冶金工藝?yán)没瘜W(xué)浸出劑將銦從靶材中溶解出來(lái)。這種方法比火法更環(huán)保，適用于從成分復(fù)雜的靶材中回收銦。然而，這一過(guò)程可能較為復(fù)雜，需要使用危險(xiǎn)化學(xué)品。

電化學(xué)過(guò)程通過(guò)電流將銦從靶材中溶解和回收。這種方法也比火法更環(huán)保，可以回收較高純度的銦。但這一過(guò)程可能較為復(fù)雜，需要專門(mén)的設(shè)備和專業(yè)知識(shí)。

提純銦的方法包括蒸餾法、電解法和區(qū)域精煉法。蒸餾通過(guò)高溫蒸發(fā)和冷凝來(lái)提純銦。電解利用電流來(lái)提純銦。區(qū)域精煉則通過(guò)移動(dòng)的熔融區(qū)來(lái)提純銦。