粉末冶金法:通過將銦粉末在高溫下壓制和燒結成型,可有效控制雜質含量,能制造出形狀復雜的靶材,制得的靶材具有較高的致密度和均勻性。
熔煉法:將銦材料加熱至熔點以上,使其成為液態(tài),然后通過鑄模或其他成型工藝制造靶材,該方法簡單快捷,但控制純度和均勻性相對較難。
銦靶是現代電子信息、新能源、高端制造等戰(zhàn)略性新興產業(yè)的底層關鍵材料,其應用深度和廣度直接反映一個國家在半導體、顯示、光伏等領域的技術水平。由于全球銦資源稀缺(主要伴生于鋅礦),且提純工藝復雜,銦靶的供應鏈已成為各國關注的重點。未來,隨著 5G、AI、新能源汽車等產業(yè)的爆發(fā),銦靶的需求將持續(xù)增長,同時推動高純銦(99.999% 以上)制備技術的不斷突破。
安裝前預處理
表面清潔:
用無水乙醇或丙酮擦拭靶材表面,去除油污、指紋及氧化層(可用無塵布蘸取溶劑沿同一方向擦拭,避免來回摩擦)。
若靶材表面有輕微氧化,可用細砂紙(800~1200 目)輕輕打磨,再用去離子水沖洗并干燥。
靶材檢查:
確認靶材無裂紋、孔洞或脫落(銦質地軟,運輸或安裝時易磕碰損傷)。
檢查靶材與靶架的適配性(如尺寸公差、導電性接觸點),確保安裝牢固。
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