所謂半導體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標準以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算。在絕大多數情況下，無塵車間運行中風速越低，過濾器的使用效果越好。

小粒徑粉塵的擴散作用(布朗運動)明顯，風速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經驗表明，對于過濾器，風速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數量級(效率數值增加一個9)，風速增加一倍，透過率會增加一個數量級(效率降低一個9)。

無塵室是污染控制的基礎，是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間。在無塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產.一些高新技術對生產環(huán)境的要求提高，為了提升競爭力，各個行業(yè)也開始追求無塵室的質量。

除了防止微塵進入，無塵室也要設置凈化空調系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產工藝設備等各類設備設施，來確保無塵室內的空氣潔凈度級別使用符合產品生產工藝的要求。在系統(tǒng)正常運行中，維護也是必不可少的。比如，空氣過濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風機軸承的運行是否處于正常狀態(tài)等。每一項都影響了系統(tǒng)的運行，因此不可遺漏。